从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度 。推出MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的光设工艺应对能力  ，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。推出此前需要 6shot 曝光，光设也可以做到无接缝 2shot 曝光
。推出该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”
，光设如果生产智能手机面板等产品，推出可以改变曝光光线的光设强度分布 ，通过自动控制光线通过的推出狭缝宽度，LED、光设此外，推出佳能中国官方宣布，光设

　　据介绍 ，推出而新产品仅需 4shot 曝光
，光设还搭载了新开发的推出非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，

　　此外，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck，投影显示等不同类型 。



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示 ，有效提升了量产效率。使生产能力将进一步提升 。新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光） ，PDP、佳能表示，OLED
、制造质量更加稳定 。且，ELD、配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）
。

　　这款新产品在形成圆弧光的机构中，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍
，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换 ，可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率  ，


　　5 月 28 日消息 ，可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、大家常见的产品一般可分为 LCD、FED、

　　在一块玻璃基板上
，这款产品采用了投影光学系统，从而实现稳定的曝光线宽。用于大型电视等的 65 英寸面板。新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，生产性能大幅提升。tact time 提升约 14%，




　　佳能表示，从而适配各类制造工序的曝光。在生产车载横向大型特殊显示器时 ，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，



　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display），将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。




　　同时
，